Вольфрам силицид
Вольфрам силицид
Вольфрам силицид WSi2 микроэлектроникада электр шокы материалы буларак кулланыла, полисиликон чыбыклардан качу, анти-оксидлаштыру каплавы һәм каршылык чыбыклары.Вольфрам силициды микроэлектроникада контакт материалы буларак кулланыла, каршылыгы 60-80μΩсм.Ул 1000 ° C тәшкил итә.Бу, гадәттә, үткәрүчәнлеген арттыру һәм сигнал тизлеген арттыру өчен полисиликон линияләре өчен шант буларак кулланыла.Вольфрам Силицид катламы химик парлар белән парны чүпләү кебек әзерләнергә мөмкин.Моносилан яки дихлоросилан һәм вольфрам гексафлоридны чимал газы итеп кулланыгыз.Сакланган фильм стохиометрик түгел һәм аннальингны үткәргеч стохиометрик формага әверелдерүне таләп итә.
Вольфрам силициды элеккеге вольфрам фильмын алыштыра ала.Вольфрам силициды шулай ук кремний һәм башка металллар арасында киртә катламы буларак кулланыла.
Вольфрам силициды шулай ук микроэлектромеханик системаларда бик кыйммәт, алар арасында вольфрам силициды, нигездә, микрокиркалар җитештерү өчен нечкә пленка буларак кулланыла.Моның өчен вольфрам силицид пленкасы, мәсәлән, силицид ярдәмендә плазмалы булырга мөмкин.
| ITEM | Химик состав | |||||
| Элемент | W | C | P | Fe | S | Si |
| Эчтәлек (wt%) | 76.22 | 0.01 | 0,001 | 0.12 | 0,004 | Баланс |
Бай махсус материаллар спуттеринг максаты җитештерүдә махсуслашкан һәм клиентлар спецификациясе буенча вольфрам силицид спуттер материаллары җитештерә ала.Күбрәк мәгълүмат алу өчен зинһар, безнең белән элемтәгә керегез.
