Ябык максаттагы нечкә пленка - махсус материал формасы.Калынлыкның конкрет юнәлешендә масштаб бик кечкенә, бу микроскопик үлчәнә торган күләм.Моннан тыш, кино калынлыгының тышкы кыяфәте һәм интерфейсы аркасында материаль өзлексезлек бетә, бу фильм мәгълүматларын һәм максатлы мәгълүматларның төрле уртак характеристикаларын ясый. Theәм максат - нигездә магнитрон чәчкеч каплау куллану, Пекин Ричмат редакциясе безне аңларга ярдәм итәчәк. каплау принцибы һәм осталыгы.
一 ut Чәчү каплау принцибы
Спуттеринг каплау осталыгы - ион снарядының максатчан тышкы кыяфәтен куллану, максат атомнары спуттеринг дип аталган күренештән чыгарыла.Субстрат өслегенә салынган атомнар чәчелгән каплау дип атала. Гомумән алганда, газ ионизациясе газ чыгару белән ясала, һәм уңай ионнар катод максатын электр кыры тәэсирендә тиз тизлектә бомбалыйлар, атомнарын яки молекулаларын сугалар. катод максаты, һәм фильмга урнаштырылу өчен субстрат өслегенә очу. Гади генә итеп әйткәндә, бөтерелгән каплау ионнар тудыру өчен түбән басымлы инерт газ ялтыравыкларын куллана.
Гадәттә, шакмаклы пленка җиһазлары вакуум агызу камерасында ике электрод белән җиһазландырылган, һәм катод максаты каплау мәгълүматыннан тора.Вакуум камерасы аргон газы белән 0,1 ~ 10Па басымы белән тутырылган.Якты агызу катодта 1 ~ 3кВ дк тискәре көчәнеш яки 13,56мгц көчәнеш көчәнеше тәэсирендә барлыкка килә.
二 、 Спуттеринг каплау осталыгы үзенчәлекләре
1 、 Тиз туплау тизлеге
Speedгары тизлектәге магнитрон чәчү электроды белән традицион ике этаплы бөтерелү электродының аермасы шунда: магнит максат астына урнаштырылган, шуңа күрә ябык тигез булмаган магнит кыры максат өслегендә була - Электрондагы лоренц көче үзәккә таба. гетероген магнит кыры.Фокус эффекты аркасында электроннар азрак кача.Гетероген магнит кыры максат өслегендә әйләнә, һәм гетероген магнит кырында тотылган икенчел электроннар газ молекулалары белән кат-кат бәрелешәләр, бу газ молекулаларының югары конверсия тизлеген яхшырта. Шуңа күрә югары тизлектәге магнитрон таркалуы аз көч куллана, ләкин идеаль агызу характеристикалары белән зур каплау эффективлыгын ала ала.
2 subst Субстрат температурасы түбән
Speedгары тизлектәге магнитрон бөтерелү, түбән температурада бөтерелү дип тә атала.Сәбәбе - җайланма бер-берсенә туры булган электромагнит кырларында агызуны куллана.Максатның тышкы ягында, бер-берсендә булган икенчел электроннар.Туры электромагнит кыры ярдәмендә ул максат өслегенә бәйләнгән һәм очыш полосасы буенча түгәрәк әйләнеш сызыгында хәрәкәт итә, газ молекулаларын газ молекулаларын ионлаштыру өчен берничә тапкыр шакыды. Бергәләп, электроннар үзләре әкренләп энергияләрен югалталар. субстрат янындагы максат өслегеннән кача алганчы, аларның энергиясе тулысынча диярлек юкка чыкканчы.Электроннарның энергиясе бик түбән булганга, максатның температурасы артык югары күтәрелми.Бу криогенизацияне тәмамлаган гади диодның югары энергияле электрон бомбардирациясе аркасында субстрат температураның күтәрелүенә каршы тору өчен җитәрлек.
3 mem Мембрана структураларының киң ассортименты
Вакуум парга әйләнү һәм инъекция чүплеге белән алынган нечкә пленкаларның структурасы күпчелек каты катламнарны алудан аерылып тора.Өч үлчәмдә бер үк структура классификацияләнгән гомуми булган каты катламнардан аермалы буларак, газ фазасына салынган фильмнар гетероген структуралар классификацияләнәләр. Нечкә фильмнар багана булып, электрон микроскопия сканерлау ярдәмендә тикшерелергә мөмкин.Фильмның багана үсеше субстратның оригиналь конвекс өслеге һәм субстратның күренекле өлешләрендә берничә күләгә аркасында килеп чыга.Ләкин, багананың формасы һәм зурлыгы субстрат температурасы, тезелгән атомнарның өслеге дисперсиясе, пычрак атомнарны күмү һәм вакыйга субстрат өслегенә карата вакыйга атомнары почмагы аркасында бөтенләй башка.Артык температура диапазонында нечкә пленка җепселле структурага, югары тыгызлыкка ия, нечкә багана кристалларыннан тора, ул чәчелгән фильмның уникаль структурасы.
Спутинг басымы һәм кино туплау тизлеге шулай ук фильм структурасына тәэсир итә.Газ молекулалары субстрат өслегендәге атомнарның таралышын басу эффектына ия булганлыктан, югары штурм басымы эффекты модельнең субстрат температурасы төшү өчен яраклы.Шуңа күрә, бөртекле бөртекле пленкалы фильмнарны югары бөтерелү басымында алырга мөмкин.Бу кечкенә ашлык зурлыгында пленка майлау, киемгә каршы тору, өслекне катырту һәм башка механик кулланмалар өчен яраклы.
4 composition Композицияне тигез тәртипкә китерегез
Вакуум парга әйләнү белән каплау бик авыр булган кушылмалар, катнашмалар, эретмәләр һ.б., чөнки компонентларның пар басымы төрле, яки җылытылганда аерылып торалар. субстратка, бу мәгънәдә кино ясау осталыгы.Барлык төр материалларны да промышленность белән каплау производствосында кулланырга мөмкин.
Пост вакыты: 29-2022 апрель