Хәзерге вакытта, IC индустриясе таләп иткән югары дәрәҗәдәге ультра югары чисталык металл бакыр максатлары диярлек берничә эре чит ил күпмилләтле компанияләре тарафыннан монополияләнә.Эчке IC индустриясе өчен кирәк булган барлык ультрапур бакыр максатларын импортларга кирәк, бу кыйммәт кенә түгел, импорт процедураларында да катлаулы. Шуңа күрә Кытайга ашыгыч рәвештә югары чисталык (6N) бакыр чәчү максатларын эшкәртү һәм тикшерүне яхшыртырга кирәк. .Ультра югары чисталык (6N) бакыр чәчү максатларын үстерүдә төп нокталарга һәм кыенлыкларга күз салыйк.
1、Ультра югары чисталык материалларын эшләү
Кытайда югары чисталыклы Cu, Al һәм Ta металлларын чистарту технологиясе сәнәгать үсеш алган илләрдән ерак.Хәзерге вакытта, югары чисталыклы металлларның күбесе, тармактагы гадәти элементларны анализлау ысуллары нигезендә, максатларны чабу өчен интеграль схемаларның сыйфат таләпләренә җавап бирә алмый.Максатка кертүләр саны бик күп яки тигез булмаган таратыла.Кисәкчәләр еш вафат булганда ваферда барлыкка килә, нәтиҗәдә кыска схема яки үзара бәйләнешнең ачык чылбыры барлыкка килә, бу фильм эшенә җитди йогынты ясый.
2、Бакыр чәчүне максатчан әзерләү технологиясен үстерү
Бакыр чәчүне максатчан әзерләү технологиясен үстерү, нигездә, өч аспектка юнәлтелгән: ашлык күләме, ориентация контроле һәм бердәмлек.Ярымүткәргеч тармагы максатларны чабу һәм чималны парга әйләндерү өчен иң югары таләпләргә ия.Ашлык өслегенең зурлыгын һәм максатның кристалл юнәлешен контрольдә тоту өчен бик катгый таләпләр бар.Максатның ашлык күләме 100 белән контрольдә тотылырга тиешμ М түбәндә, ашлык күләмен контрольдә тоту, корреляцион анализ һәм ачыклау чаралары металл максатларны үстерү өчен бик мөһим.
3、Анализны үстерү һәмтест технология
Максатның югары чисталыгы пычракларның кимүен аңлата.Элек пычракларны ачыклау өчен индуктив рәвештә кушылган плазма (ICP) һәм атом үзләштерү спектрометриясе кулланыла иде, ләкин соңгы елларда югары сизгерлек белән ялтыравык агызу сыйфатын анализлау (GDMS) әкренләп стандарт буларак кулланылды. ысулы.Калдык каршылык коэффициенты RRR ысулы, нигездә, электр чисталыгын билгеләү өчен кулланыла.Аның билгеләү принцибы - пычракларның электрон дисперсия дәрәҗәсен үлчәп, төп металлның чисталыгын бәяләү.Бу бүлмә температурасында һәм бик түбән температурада каршылыкны үлчәү өчен, санны алу гади.Соңгы елларда, металлларның асылын өйрәнү өчен, ультра югары чисталык буенча тикшеренүләр бик актив.Бу очракта RRR кыйммәте чисталыкны бәяләү өчен иң яхшы ысул.
Пост вакыты: 06-2022 май