Соңгы елларда, интеграль схема (IC) технологиясе үсеше белән, интеграль схемаларның бәйләнешле кушымталары тиз эшләнде.Ультра югары чисталыклы алюминий эретмәсе эретү максаты, интеграль схема металл үзара бәйләнешләр җитештерүдә ярдәмче материал буларак, соңгы эчке тикшеренүләрдә кайнар темага әйләнде.RSM редакторы безгә югары чисталык алюминий эретмәсе эретү максатының үзенчәлекләрен күрсәтәчәк.
Магнитрон чәчү максатының эффективлыгын тагын да яхшырту һәм урнаштырылган фильмнарның сыйфатын тәэмин итү өчен, күп санлы экспериментлар шуны күрсәтә: ультра югары чисталык алюминий эритмәсе эретү максатының составы, микросруктурасы һәм ашлык юнәлеше өчен билгеле таләпләр бар.
Ашлык күләме һәм ашлыкның ориентациясе IC фильмнарын әзерләүгә һәм үзлекләренә зур йогынты ясый.Нәтиҗә шуны күрсәтә: ашлык күләменең артуы белән чүплек дәрәҗәсе кими;Шул ук композиция белән бөтерелү максаты өчен, кечкенә ашлык зурлыгында максатның бөтерелү тизлеге зур ашлык зурлыгы белән чагыштырганда тизрәк;Максатның ашлык күләме никадәр бертөрле булса, сакланган пленкаларның калынлыгы шулкадәр тигез.
Шул ук чайкалу коралы һәм процесс параметрлары буенча, Al Cu эритмәсе максатының атылу тыгызлыгы атом тыгызлыгы арту белән арта, ләкин ул гадәттә диапазонда тотрыклы.Ашлык күләменең бөтерелү темпына тәэсире атом тыгызлыгының ашлык күләменең үзгәрүе белән бәйле;Чүпләнү дәрәҗәсе, нигездә, Al Cu эритмәсе максатының ашлык ориентациясенә тәэсир итә.(200) кристалл самолетларның пропорциясен тәэмин итү нигезендә, (111), (220) һәм (311) кристалл самолетларның пропорциясен арттыру чүпләнү тизлеген арттырачак.
Ашлыкның зурлыгы һәм ультра югары чисталыклы алюминий эритмәсе максатларының ориентациясе, нигездә, гомогенизация, кайнар эш һәм рекристализация аннализациясе белән көйләнә һәм контрольдә тотыла.20,32 см (8ин) һәм 30.48см (12ин) кадәр вафин размеры үсеше белән, максатның күләме дә арта, бу ультра югары чисталык алюминий эритмәсе эретү максатларына югары таләпләр куя.Фильмның сыйфатын һәм уңышын тәэмин итү өчен, максатлы эшкәртү параметрлары катгый контрольдә тотылырга тиеш, максатлы микросруктура бердәм булырга һәм ашлык ориентациясе көчле (200) һәм (220) яссылык текстуралары булырга тиеш.
Пост вакыты: 30-2022 июнь